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如何選擇LED外延片的襯底材料

  • 發布時間:2014-05-20 16:47   來源:未知
(1)      襯底與外延膜的結構匹配:外延材料與襯底材料的晶體結構相同或相近、晶格常數失配小、結晶性能好、缺陷密度低。


(2)      襯底與外延膜的熱膨脹系數匹配:熱膨脹系數的匹配非常重要,外延膜與襯底材料在熱膨脹系數上相差過大,不僅可能使外延質量下降,還會在器件工作過程中因發熱而造成器件的損壞。


(3)      襯底與外延膜的化學穩定性匹配:襯底材料要有好的化學穩定性,在外延生長的溫度和氣氛中不易分解和腐蝕,不能因為與外延膜的化學反應使外延膜質量下降。


(4)      材料制備的難易程度及成本的高低;考慮到產業化發展的需要,襯底材料的制備要求簡捷,成本不宜很高;襯底尺寸一般不小于2英寸。
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